车床的化学气相沉积法，铣床是采用一定的方法把含有C源的气体激活，车床在极低的气体压强下，铣床使碳原子在一定区域沉积下来，车床碳原子在凝聚、铣床的沉积过程中形成金刚石相。目前车床用于沉积金刚石的CVD法主要包括：微波、热灯丝、铣床的直流电弧喷射法等。